ガス供給裝置 -エレクトロニクス分野
ジュール=トムソン効果で顕著に溫度低下するガスを長期間供給可能（登録特許第5462607號）
本特許は、モノシランや三フッ化窒素等、ジュール＝トムソン効果によって減圧時に顕著に溫度が低下するガスを供給する際、減圧時の溫度低下を抑制しつつ、ガスを供給する技術です。
本特許の供給方法は、ガス供給ライン上の減圧弁、および減圧弁の上流に設けられた熱交換器に溫水を流します。このことで、減圧される前のガスを溫水で加溫し、減圧後のガスの溫度が低くなり過ぎることを防ぎます。また、減圧弁自體を內部より溫水で加熱することで、効率的に減圧弁の凍結を防止します。この結果、減圧弁におけるジュール=トムソン効果での溫度低下による凍結を防止しつつ、ガスを長期間連続して供給することができます。
特長
- ジュール=トムソン効果で顕著に溫度低下するガスを長期間連続して供給することが可能で、減圧弁及び供給配管の結露?凍結を防止するとともに、液化ガスの場合は再液化を防ぎます。
対象商品
- U-NACSⅡ BS（特殊材料ガスバルク供給設備）
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