No.25（2006年）

2006年11月28日発行

技術報告

大型量産GaN用MOCVD裝置の開発	PDFダウンロード（860KB）
塩素ガスを用いたGaN-MOCVD裝置反応爐部品の洗浄裝置（CLEANDEX-100）の開発	PDFダウンロード（560KB）
次世代SiOCH系低誘電率膜向けプリカーサーの開発－Si-C2H4-Siネットワークの導入－	PDFダウンロード（763KB）
乾式除害裝置のシミュレーション	PDFダウンロード（1,194KB）

技術紹介

省エネ型PSA式窒素ガス発生裝置の制御系開発	PDFダウンロード（456KB）
亜鉛めっき鋼板のハイブリッド溶接におけるシールドガスの影響	PDFダウンロード（333KB）
超深溶け込みティグ溶接用シールドガスの開発	PDFダウンロード（299KB）
金屬焼結における脫脂技術	PDFダウンロード（245KB）
化合物半導體向けアンモニアガス精製裝置の開発	PDFダウンロード（319KB）
斷熱圧縮熱抑制技術の開発（スロースタートバルブの開発）	PDFダウンロード（600KB）
安定同位體製品の精密分析技術	PDFダウンロード（433KB）
半導體製造裝置の排ガス分析技術	PDFダウンロード（316KB）
1段希釈重量充填法による二酸化炭素標準ガスの調製	PDFダウンロード（304KB）
Linde社製新型ヘリウム液化機シリーズとその運転制御	PDFダウンロード（506KB）

設備紹介

窒素中の一酸化炭素除去裝置	PDFダウンロード（303KB）
貯槽內液化ガス殘量（液面）情報収集システム	PDFダウンロード（501KB）

商品紹介

2Dバーコード凍結保存試料管理システム	PDFダウンロード（184KB）
低溫粉砕システム	PDFダウンロード（303KB）
シロキサン除去裝置	PDFダウンロード（169KB）
Hi-SAVER　SF6ガス回収サービス事業	PDFダウンロード（505KB）
サーモス 真空斷熱パスタクッカー	PDFダウンロード（155KB）
小型燃焼式排ガス処理裝置?リトルクール?シリーズ	PDFダウンロード（145KB）
大気圧プラズマ式排ガス処理裝置	PDFダウンロード（126KB）
船舶用PSA式窒素ガス発生裝置	PDFダウンロード（173KB）
現地組み立て式CE100A型二重殻貯槽	PDFダウンロード（140KB）
橫置容量可変型ドライガスシールポンプ	PDFダウンロード（142KB）
原単位0.195kWh/Nm³を達成した高純度窒素製造裝置	PDFダウンロード（149KB）
液を併産する內部圧縮型空気分離裝置	PDFダウンロード（157KB）

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